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  1. 采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器

  2. 本文展示了一种适用于MEMS振荡器的制造工艺，以及一组可与传统的石英晶体技术相媲美的测量数据。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-18
    • 文件大小：541kb
    • 提供者：weixin_38615591