本文介绍了一种利用金属原子谱线同位素位移的特性，由激光诱导荧光法采用线阵CCD固体成像器件测量真空室内原子蒸气束横向最可几速度及速度分布的方法与装置。在点(4×6 mm2)蒸发模型的情况下，实验结果表明:横向(x轴)速度随x线性增加，且其分布不受加热功率的影响；原子密度通量按速度的分布满足正态分布，其速度半宽度随加热而变化。