提出了一种用阵列波导光栅复用光纤微机电系统法布里珀罗压力传感器的方法,实现了法布里珀罗压力传感器的准分布式测量。传感器基于法布里珀罗腔干涉的原理,采用微机电系统技术加工制作,用双波长方法解调干涉信号,利用传感器对两个不同波长光的反射率的比值与压力的单值关系确定所施加压力的大小,用阵列波导光栅实现传感器复用。理论分析与实验验证了传感器解调和复用的基本原理。实验结果表明:在压力的线性测量范围(0～1.5 MPa)内,系统的灵敏度(相对反射率比值/压力)可达到0.02026 MPa-1,测量结果具有较

从理论上和实验上研究了一种操作简单、响应速度快、价格低廉和高分辨率的基于阵列波导光栅(AWG)的准分布式光纤布拉格光栅(FBG)传感器。该传感系统采用了阵列波导光栅双通道强度解调技术对光纤光栅的布拉格波长和温度进行精确的解调。实验结果表明, 该系统对宽带宽光纤光栅的布拉格波长和温度解调均具有高线性度, 考虑系统稳定性及光纤布拉格光栅之间的串扰影响, 波长测量精度仍可达2 pm, 温度测量精度优于0.2 ℃。