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  1. 集成电路制造技术——原理与工艺---第六章离子注入

  2. 集成电路制造技术——原理与工艺---第六章离子注入 6.1 概述 6.2离子注入原理 6.3注入离子在靶中的分布 6.4注入损伤 6.5退火 6.6离子注入设备与工艺 6.7离子注入的其它应用

  3. 所属分类：讲义

    • 发布日期：2020-08-24
    • 文件大小：4mb
    • 提供者：zhifj86