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  1. 集成电路用聚合物光波导材料

  2. 针对光互连的热门前沿问题，对目前世界上采用的波导材料进行了总结，并重点介绍了含氟聚酰亚胺和聚硅氧烷两种集成电路最适用的材料及其研究现状。为进一步开展大规模光路集成做了部分基础研究工作。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：277kb
    • 提供者：weixin_38587473