研究了采用氟化钍、硒化锌和硫化锌材料改善10.6微米激光反射镜涂层的薄膜耐久性的方法。由于在所有介质-介质界面使用非均匀交界面，并且在膜的设计中加入氟化铈保护复盖材料，于是获得了薄膜耐久性的最大改进。给出了增反射膜、偏振选择涂层、以及为高功率激光器应用设计的掩蔽式光栅孔径匀分涂层的实验结果。