利用脉宽和重复频率可调的超快激光系统，研究了氧化锗玻璃内部自组装纳米光栅的结构特点和关键影响因素。确定了氧化锗玻璃中纳米光栅的形成阈值，发现其与材料的带隙及激光的脉宽有关。在优化加工参数的基础上，利用纳米光栅的双折射特性，在氧化锗玻璃内部实现了光学微元件，并演示了其功能。分析了飞秒激光的重复频率对纳米光栅的形成和结构性能的影响，发现氧化锗玻璃中纳米光栅的双折射强度具有反常的偏振依赖性，并分析了这种现象出现的原因。