利用单束800 nm飞秒激光在掺杂了Al的ZnO薄膜中制备了纳米周期条纹结构。研究了不同能流密度的飞秒激光在照射不同的时间后，表面纳米周期结构的变化规律及其形成机制。利用He-Ge激光器作为激发光源，研究了ZnO:Al薄膜的光致发光特性及其与纳米周期结构的关系。结果表明，近带隙发光增强的主要原因是800 nm飞秒激光在诱导纳米周期结构的同时对ZnO:Al薄膜的淬火作用和周期纳米条纹对He-Ge激光的吸收增加。