(上海微高精密机械工程有限公司，上海 201203)摘 要：通过对国内IC生产线及其Stepper装备的现状、市场前景的分析，阐述了国内0．2-1μmIC生产线中二手Stepper解决方案。关键词：分辨率； IC生产线；二手Steppe广；解决方案中图分类号：TN305 文献标识码：C 文章编号：1004-4507(2005)03-0004-341 国内IC生产线中Stepper现状及市场前景1．1 国内IC生产线现状随着科学技术的不断发展和进步，我国微电子产业已进入蓬勃发展的新时期，特别是最近