据加利福尼亚州圣迭戈Helicmetics公司激光分部的J. I.列伐特宣布,已经制成第一台产生100瓦可用平均功率的商用准分子激光器。这台由X射线预电离、放电泵浦的XeCl激光器输出能量每脉冲超过1焦耳,运转速率为每秒100个脉冲。整个激光系统业经连续运转一个多小时而工作性能并无下降。

西德Lambda Physik公司为美国喷气推进实验室的桌山激光雷达设施安装了一台100瓦的窄带准分子激光器。这种脉冲式EMG 160T MSC型激光器运转波长为307.9纳米，其能量可放大到700毫焦耳，目前正用于美国航天局高层大气研究计划测定臭氧浓度。

情性气体卤素准分子激光器于1976年第一次问世之后，达到了相当高的水平，成为强有力的紫外光源。其特点是：从远紫外到红外范围内都有发射谱线，能量和输出功率都很高。高速气体循环使重复率超过100赫，导致紫外范围的平均输出功率达10瓦，腐蚀性气体氟气(F2)的处理也可以简化为只需按动开关操作。所以，准分子激光器是种种应用领域中的有力工具，这些应用包括：非线性光谱学，激光引起的催化反应、光激发、同位素分离、化学物质净化等各种光化学过程和染料激光器泵浦源等。