针对毛细管放电X线激光的研究中气体预电离对电源的要求，设计一种重复频率的高压脉冲电源。采用可调直流高压电源和储能电容器作为能源系统，利用固体开关作为主放电开关控制脉冲宽度和频率，最后通过脉冲变压器升压在负载上得到所需的电压脉冲。整个系统利用计算机和数据采集控制卡实现程控。实验结果表明5kV重复频率高压脉冲电源的最终输出脉冲电压范围为3～5kV可调；脉冲宽度范围为2～20μs可调；脉冲频率范围为1～200Hz可调；脉冲电流最大100A。