建立了实际刻划光栅的物理模型,给出了相应的衍射效率表达式,进而阐述了红外激光器零级耦合输出选频振荡闪耀光栅的设计原理。根据理论分析结果,采用调整刻划负载控制三角槽形闪耀光栅零级面,双向逐步逼近1级和零级衍射效率设计值的方法和工艺,研制了在利特罗(Littrow)安装下1级衍射效率为86.5%,零级衍射效率为10.3%的9.77 μm红外激光器零级耦合输出选频振荡镀金闪耀光栅。检验结果表明,由加工误差引入的1级和零级衍射效率与设计中心值的偏离量分别仅为0.6%和3%。