本刊通讯员 张 伟 2003年3 月12～14日在上海新国际博览中心SEMICON CHINA 2003如期举行，此次展会有来自23个国家共700多家厂商参展，会议吸引了众多行业人士前来参观。随着全球半导体市场的大幅下滑，而中国无疑是半导体产业最为振奋人心的市场，也是最具有发展潜力的市场。中国正逐步成为技术投资增长的亮点。在中国半导体制造业大力发展乃至繁荣的同时，半导体设备在整个环节是重中之重。在工艺技术不断提升的时候，顺畅及高效率的工艺整合便越显重要，因为只有借高效能的自动化系统及设备，才能有