摘要：介绍了一种可调光栅的制作方法.首先通过紫外线光刻的方法，制作出微米尺度的光栅结构（周期8微米），然后将光栅复制在聚甲基硅氧烷（PDMS）薄膜上，形成内嵌式PDMS光栅.利用PDMS优异的弹性，将此薄膜沿着光栅栅线的方向拉伸，随着栅线的伸长，光栅常数也随之变小，周期调节极限为5微米.传统方法制作可调光栅，工艺条件苛刻，制作过程复杂，难以控制，制作成本高，周期较长.提出的制作可调光栅的方法成本低，周期短，工艺过程简单易控制，可广泛应用于微型光谱仪.扫描仪.光通信等领域. 　　O引言光栅作为一