通过射频磁控管技术将化学计量和非晶Er（2）O（3）薄膜沉积在Si（001）衬底上。 椭圆偏振光谱测量表明，Er（2）O（3）膜在400-1000 nm波长范围内的折射率在1.6-1.7之间。 Er（2）O（3）膜的反射率相对于未涂覆的Si衬底的反射率大大降低。 Er（2）O（3）薄膜的吸收系数表明其能隙大于4.5 eV。 获得的特性表明，Er（2）O（3）薄膜可能是太阳能电池中抗反射涂层的有前途的候选者。