通过射频磁控溅射在硅（1 0 0）衬底上沉积多晶Zn（1-x）Eu（x）O（x = 0，0.02，0.05）薄膜。 研究了薄膜的结构，光学和磁性。 X射线衍射和光致发光光谱的结果都表明Eu（3+）离子成功替代了ZnO晶格中的Zn（2+）离子。 磁场和磁化曲线的温度依赖性表明，Zn（0.95）Eu（0.05）O薄膜在室温下是铁磁性的。 通过X射线衍射，拉曼光谱和零场冷测量，在Eu掺杂的薄膜中未发现杂质相。 铁磁性归因于Eu掺杂的ZnO薄膜的固有性质，并且可以通过束缚磁极化子模型来解释。