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  1. MEMS压力传感器原理及应用详解

  2. 目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-17
    • 文件大小：54kb
    • 提供者：weixin_38732307