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搜索资源列表

  1. 北京大学体硅MEMS工艺

  2. 为了使表面牺牲层MEMS设计标准化，利用ICCAD根据进行版图设计规则的自动检查，制定出该设计规则，并在CADENCE中建立了相应的工艺库几DRC检验规则

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2009-05-03
    • 文件大小：116kb
    • 提供者：ease0000

  1. 关于微机电系统（MEMS）的介绍课件

  2. 微机电系统（MEMS）的分类，制造工艺，几种重要的器件等。

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2009-05-14
    • 文件大小：8mb
    • 提供者：hill_cheung

  1. 微机电系统引论（主要讲述MEMS的工艺以及一些力学知识）

  2. 中科院MEMS课件，主要讲述工艺知识以及首例分析。。。

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2010-05-04
    • 文件大小：14mb
    • 提供者：tanhe09

  1. MEMS标准工艺介绍

  2. MEMS标准工艺的详细介绍，对初学者很有帮助

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2010-05-13
    • 文件大小：1mb
    • 提供者：benbenlinger

  1. RF_MEMS开关的工艺制备

  2. 微电子机械系统(MEMS)是微电子技术与机械、光学、电子等领域交叉融合的产物，是在IC工艺技术基础上的延伸与拓展，是微电子应用的新突破。RF MEMS开关是MEMS技术的一个分支， 也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点.

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2011-04-13
    • 文件大小：348kb
    • 提供者：chxxtu2009

  1. MEMS器件工艺设计

  2. 该资料为MEMS器件设计工艺的基础,详细介绍了常见MEMS器件工艺流程,具有代表性

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2011-04-13
    • 文件大小：1mb
    • 提供者：chxxtu2009

  1. CMOS-MEMS Technology

  2. MEMS工艺

  3. 所属分类：3G/移动开发

    • 发布日期：2012-04-07
    • 文件大小：1mb
    • 提供者：smile26324

  1. 基于OpenGL的MEMS工艺几何仿真技术研究

  2. 基于OpenGL的MEMS工艺几何仿真技术研究

  3. 所属分类：C/C++

    • 发布日期：2012-04-25
    • 文件大小：2mb
    • 提供者：yu604

  1. MEMS陀螺仪原理与应用

  2. MEMS传感器及其应用 MEMS陀螺仪的原理与应用优势分析 陀螺仪工作原理及工艺构造

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2012-08-26
    • 文件大小：19mb
    • 提供者：dzhvip

  1. mems配套课件集

  2. mems IC 微电子 课程学习辅导(工艺+设计）

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2012-12-26
    • 文件大小：41mb
    • 提供者：carreychan

  1. 微电子工艺

  2. 讲述了微电子学，如何进行光刻等过程，高科技的mems光技术。

  3. 所属分类：硬件开发

    • 发布日期：2013-10-23
    • 文件大小：1mb
    • 提供者：mobowei

  1. MEMS工艺

  2. MEMS工艺

  3. 所属分类：数据库

    • 发布日期：2014-04-19
    • 文件大小：9mb
    • 提供者：u014806041

  1. ADI MEMS Workshop1

  2. MEMS制造工艺介绍，ADI经典书籍，共享给大家

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2014-05-27
    • 文件大小：785kb
    • 提供者：qq_15154367

  1. part1-fundamentalsMEMS

  2. 这是一本很好的MEMS方面的书，主要讲的是MEMS工艺。此为第一册，一共6册

  3. 所属分类：讲义

    • 发布日期：2014-12-15
    • 文件大小：19mb
    • 提供者：qq_24543413

  1. part2-fundamentalsMEMS

  2. MEMS工艺方面一本很好的书，国外的，值得推荐，这个是第二部分。

  3. 所属分类：讲义

    • 发布日期：2014-12-15
    • 文件大小：17mb
    • 提供者：qq_24543413

  1. 基于MEMS工艺的电极型免疫微传感器检测系统设计

  2. 近几年，基于电化学原理的安培酶免疫检测发展迅速，在食品工业、环境监测与处理、生物技术及临床诊断等领域都有着广泛的应用。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-13
    • 文件大小：227kb
    • 提供者：weixin_38719564

  1. 基于MEMS工艺的亚毫米波集成喇叭天线

  2. 在亚毫米波频段，相比较于微波毫米波频段，由于频率更高、波长更短，因而相应的器件尺寸更小。而天线作为尺寸和波长大小密切相关的器件，在亚毫米波频段的设计具有很大挑战。一方面，运用新材料、新工艺加工微小尺寸并能满足亚毫米波公差要求的天线；另一方面，根据亚毫米波系统的特点，研究平面集成天线，将天线和检波器、混频器等器件运用集成天路的工艺加工集成在一起，避免分立结构带来的连接问题。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-13
    • 文件大小：349kb
    • 提供者：weixin_38631197

  1. 基于MEMS的LED芯片封装光学特性分析

  2. 本文提出了一种基于MEMS工艺的LED芯片封装技术，可以降低器件的封裴尺寸，提高发光效率。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：304kb
    • 提供者：weixin_38677255

  1. Tanner:基于PC的IC设计工具降低MEMS设计门槛

  2. 鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺，所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的掩膜。然而，IC设计与MEMS设计之间存在着根本的区别，从版图特性、验证或仿真类型，到最重要的构造问题。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-26
    • 文件大小：125kb
    • 提供者：weixin_38704485

  1. 基础电子中的基于PC的IC工具降低MEMS设计门槛

  2. 鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺，所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的掩膜。然而，IC设计与MEMS设计之间存在着根本的区别，从版图特性、验证或仿真类型，到最重要的构造问题。 　　尽管针对MEMS设计的专用工具套件已经面市，但它们的定价往往超出专注这一增长领域的许多小公司的承受范围。作为一种替代解决方案，低成本的、基于PC的IC工具开始被用于设计微机电系统及IC。 　　不过，这类软件的使用者必须认识到MEMS设计的特殊复杂性，并*估这些软件是否能支持他们的产品制造和生产周

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-07
    • 文件大小：84kb
    • 提供者：weixin_38663169
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