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  1. 毫米波段MEMS移相器的研究

  2. 详细介绍了MEMS开关的工作原理，参数指标，设计方法和注意事项，介绍了各种MEMS移相器的设计等。

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2010-03-30
    • 文件大小：6291456
    • 提供者：tianlu234

  1. mems射频微机械移相器

  2. MEMS 技术显示了其在微波领域的巨大应用潜力。利用RF MEMS 开关制造的RF MEMS 移 相器具有插损小、功耗低、宽带宽、体积小等优点，因此成为研究的热点。本文对国际上R F M E M S 的研究和发展进行了比较全面的综述，并介绍了DMTL 移相器，该移相器在DC~30GHz 范围内具有较好 的线性度，在20GHz 时相移为0°/11.6° /32.6°/48.5°，反射损失好于-11dB，插损小于-1.8dB。最后分 析了各种移相器的特点和设计、制造的难点，对M E M S 移相器

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2010-04-13
    • 文件大小：172032
    • 提供者：fht20063089

  1. RF_MEMS开关的工艺制备

  2. 微电子机械系统(MEMS)是微电子技术与机械、光学、电子等领域交叉融合的产物，是在IC工艺技术基础上的延伸与拓展，是微电子应用的新突破。RF MEMS开关是MEMS技术的一个分支， 也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点.

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2011-04-13
    • 文件大小：356352
    • 提供者：chxxtu2009

  1. MEMS switch

  2. 一种RFMEMS开关的英文，比较权威。

  3. 所属分类：网络监控

    • 发布日期：2012-10-08
    • 文件大小：766976
    • 提供者：guangya111

  1. ADI公司的mems开关中文手册

  2. 过去30年来，MEMS开关一直被标榜为性能有限的机电继电器的出色替代器件，因为它易于使用，尺寸很小，能够以极小的损耗可靠地传送0 Hz/dc至数百GHz信号，有望彻底改变电子系统的实现方式。这种性能优势会对大量不同的设备和应用产生重要影响。在MEMS开关技术的帮助下，很多领域都将达到前所未有的性能水准和尺寸规格，包括电气测试与测量系统、防务系统应用、医疗保健设备。

  3. 所属分类：电信

    • 发布日期：2019-03-08
    • 文件大小：907264
    • 提供者：qq_36008124

  1. 低压驱动RF MEMS开关设计与模拟

  2. 近年来射频微电子系统(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注,特别是MEMS开关构建的移相器与天线,是实现上万单元相控阵雷达的关键技术,在军事上有重要意义。在通信领域上亦凭借超低损耗、高隔离度、成本低等优势在手机上得到应用。然而RF MEMS开关普遍存在驱动电压高、开关时间长的问题,劣于FET场效应管开关和PIN二极管开关。相对于国外已取得的成果,国内的研究尚处于起步阶段。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-11
    • 文件大小：126976
    • 提供者：weixin_38567873

  1. 滤波器中的基于MEMS技术的滤波器应用研究

  2. 摘要：基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比，MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结，综述了近几年MEMS滤波器的研究进展，包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关/电 容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要，具有重要的现实意义。 　　0  引言 　　滤波器

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：210944
    • 提供者：weixin_38644599

  1. 低压驱动RF MEMS开关设计与模拟

  2. RFMEMS开关存在驱动电压高、开关时间长等问题，利用ANSYS对电容式开关加以改进，设计扭转臂杠杆与打孔电容膜相结合的新型开关。通过静电耦合与模态分析的仿真，可以在理论上改善RFMEMS开关的射频性能，并有工艺的可行性。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-25
    • 文件大小：126976
    • 提供者：weixin_38628647

  1. 基于低压驱动RFMEMS开关的MEMS开关改进

  2. 本文主要从结构上进行了创新，通过计算机辅助设计仿真分析得到了理论解，一定程度上满足了设计初衷，但在工艺上还不成熟。更低的驱动电压和更高的开关频率仍是亟待解决的问题，另外如何保证实际产品的可靠性、实用性也是未来的研究重点。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-25
    • 文件大小：146432
    • 提供者：weixin_38637665

  1. 低压驱动RF MEMS开关设计与模拟--用于MEMS开关缺陷的改进

  2. 本文主要从结构上进行了创新，通过计算机辅助设计仿真分析得到了理论解，一定程度上满足了设计初衷，但在工艺上还不成熟。更低的驱动电压和更高的开关频率仍是亟待解决的问题，另外如何保证实际产品的可靠性、实用性也是未来的研究重点。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-25
    • 文件大小：142336
    • 提供者：weixin_38551749

  1. 一种90°分布式MEMS 移相器的设计

  2. 近年来随着射频微机械技术的发展，MEMS移相器越来越受到人们广泛关注，已经成为人们主要研究的MEMS器件之一。与传统的移相器相比，MEMS移相器多采用半导体材料作衬底，用微机械加工技术制备，具有频带宽、损耗小、成本低、超小型化、易于与IC、MMIC电路集成等优点，因此在微波及毫米波控制电路中具有广泛的应用前景。美国密歇根大学的Barker博士通过在共面波导上周期加载MEMS 金属桥的方法，首先实现了毫米波段宽频带的MEMS移相器，如图1 所示,它的基本原理是通过改变MEMS 金属桥的高度来改变传

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-24
    • 文件大小：145408
    • 提供者：weixin_38573171

  1. 通信与网络中的低压驱动RF MEMS开关设计与模拟

  2. 近年来射频微电子系统(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注，特别是MEMS开关构建的移相器与天线，是实现上万单元相控阵雷达的关键技术，在军事上有重要意义。在通信领域上亦凭借超低损耗、高隔离度、成本低等优势在手机上得到应用。然而RF MEMS开关普遍存在驱动电压高、开关时间长的问题，劣于FET场效应管开关和PIN二极管开关。相对于国外已取得的成果，国内的研究尚处于起步阶段。下文将针对MEMS开关的缺陷做一些改进。 　　1 RF MEMS开关的一般考虑 　　当MEMS开关的梁或膜

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-05
    • 文件大小：145408
    • 提供者：weixin_38720978

  1. 模拟技术中的基于RF MEMS开关的移相器设计

  2. 引言 　　随着商业和军事系统日益向小型化、智能化和灵活化系统的发展，对于低费用、重量轻和高性能天线的设计需求也日益增加。其中，相控阵天线作为一种智能化系统得到了很大的发展。而作为相控阵天线关键组成部分的无源移相器，由于其相对简单，故硬件结构成为一个重要的技术。传统电子移相器通常使用p2i2n 二极管、MESFETs 或者p HEMT 作为开关在不同电长度信号线之间进行切换，以得到所需的相移。这些半导体开关的损耗问题抑制了传统多位移相器向更高频率的发展。 　　随着RF MEMS 技术的出现，在

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-02
    • 文件大小：177152
    • 提供者：weixin_38624556

  1. TERAVICTA公司MEMS开关新增0~26.5GHZ产品

  2. 在不久前公布产品开发蓝图之后，TeraVictaTechnologies公司近日推出新款工作频率为0~26.5GHz的SPDTMEMS开关---TT1244。该公司在此前就表明将利用其所独有的、已经验证的MEMS制造技术推出新款开关产品。通过改进以往DC~7GHz开关的基础加工工艺和设计水平，TT1244的带宽和线性性能与同类开关解决方案相比有质的飞跃、体积则大大缩小、功耗也大大降低。     TT1244具有极低的插入损耗和不错的IP3，可用于增强系统性能。TT1244采用标准表面贴着微BGA

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-26
    • 文件大小：43008
    • 提供者：weixin_38675465

  1. 基于ANSYS悬臂式RFMEMS开关的力学模拟和疲劳分析

  2. 基于ANSYS悬臂式RFMEMS开关的力学模拟和疲劳分析 李成诗，郭方敏，赖宗声， 葛羽屏，徐欣 朱自强，陆卫(1．华东师范大学电子科学技术系，上海200062；2．中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室，上海200083) 1 引言RFMEMS开关是利用静电吸附力来控制微桥或；悬臂的上下运动从而实现开、关特性，它广泛应用于射频微波、毫米波领域。目前主要有两种MEMS开关类型：悬浮臂接触式和并联电容式。MEMS开关具有低插损(0．1dB)、高绝缘(40dB，2GH2)、易于集成和能

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-09
    • 文件大小：109568
    • 提供者：weixin_38599518

  1. 基于ANSYS悬臂式RFMEMS开关力学模拟/疲劳分析

  2. 1 引言RFMEMS开关是利用静电吸附力来控制微桥或；悬臂的上下运动从而实现开、关特性，它广泛应用于射频微波、毫米波领域。目前主要有两种MEMS开关类型：悬浮臂接触式和并联电容式。MEMS开关具有低插损(0．1dB)、高绝缘(40dB，2GH2)、易于集成和能处理大功率(1-2W)等优点川。悬浮臂接触式开关由悬臂、金属接触点和静电驱动机械部分组成，其驱动电压相对较低且在实际电路中应用灵活，但其在工艺上实现起来比较困难，可靠性相对较差。对其进行软件模拟，从而对其参数进行优化，可以减少工艺上不必要的

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-08
    • 文件大小：215040
    • 提供者：weixin_38742291

  1. 基于MEMS开关的射频衰减器的设计制作

  2. 提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案。首先在DC~20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,选择以共面波导(CPW)为传输线,接触式MEMS开关作为控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡器件进行电路匹配;然后按所需衰减量计算T型网络中各个电阻大小;按照计算值,在CST微波工作室中建模仿真得到工艺加工需要的尺寸;最后结合UV-LIGA工艺对衰减器进行了样片试制并对其性能进行了测试。测试结果显示,在DC~20 GHz内,目标衰减量为10 dB时

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-06
    • 文件大小：680960
    • 提供者：weixin_38738783

  1. 基于RF MEMS开关的移相器设计

  2. 引言 　　随着商业和军事系统日益向小型化、智能化和灵活化系统的发展，对于低费用、重量轻和高性能天线的设计需求也日益增加。其中，相控阵天线作为一种智能化系统得到了很大的发展。而作为相控阵天线关键组成部分的无源移相器，由于其相对简单，故硬件结构成为一个重要的技术。传统电子移相器通常使用p2i2n 二极管、MESFETs 或者p HEMT 作为开关在不同电长度信号线之间进行切换，以得到所需的相移。这些半导体开关的损耗问题抑制了传统多位移相器向更高频率的发展。 　　随着RF MEMS 技术的出现，在

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：219136
    • 提供者：weixin_38557370

  1. RF MEMS开关的失效机理与可靠性分析

  2. RF MEMS开关的失效机理与可靠性分析

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-28
    • 文件大小：739328
    • 提供者：weixin_38703895

  1. 大功率高可靠性RF MEMS开关评论

  2. RF MEMS开关是采用MEMS技术的新型微波设备之一。 射频开关的发展方向是大功率，高可靠性。 它具有许多优点，例如低损耗，低功耗，出色的线性度，小尺寸和易于集成。 介绍了其研究现状和性能。 研究了相关的研究和专利。 提出了一些改善功率和可靠性的措施。 分析了应用领域和主要问题。 介绍了发展趋势。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-28
    • 文件大小：537600
    • 提供者：weixin_38611230
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