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  1. MEMS技术及其应用

  2. MEMS技术及其应用 MEMS技术及其应用 MEMS技术及其应用
  3. 所属分类:硬件开发

    • 发布日期:2011-07-15
    • 文件大小:14mb
    • 提供者:leifu666
  1. MEMS技术及其应用

  2. 早在二十世纪六十年代,在硅集成电路制造技术发明不久,研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性,制造微型机械部件,如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上,就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2011-11-18
    • 文件大小:8mb
    • 提供者:woha22
  1. MEMS技术及其应用浅谈

  2. MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的英文缩写,也叫微电子机械系统。它的出现可追溯到19世纪。20世纪60年代美国人首先研发出了结晶异方向腐蚀、阳极键合等早期的基本微加工技术。到了70年代,也是美国人提出了基于硅半导体的所谓微机械的设想。伴随着半导体加工技术的不断进步,人们开始利用微加工技术制造出各种微小尺寸的机械零部件。
  3. 所属分类:专业指导

    • 发布日期:2012-12-27
    • 文件大小:26kb
    • 提供者:zbzbzhjzhj
  1. MEMS技术及其应用

  2. 本书详尽介绍了MEMS技术及其应用,包括其发展背景,材料和加工方法
  3. 所属分类:专业指导

    • 发布日期:2014-09-19
    • 文件大小:8mb
    • 提供者:anbeisixi
  1. 高电压绝缘技术

  2. 高电压与绝缘技术本学科主要其研究方向为:脉冲功率及应用技术、电磁脉冲防护技术、高频高压电源技术、特殊条件下电介质结构与材料绝缘特性、放电等离子体及其应用。(1)电机与电器 本学科主要研究方向为:大型电机电器的发热与冷却技术、特种电机及其控制、超微型电机与特种电机、磁悬浮技术、直线电机及控制、永磁技术在电机及电器中的应用等。 (2)高电压与绝缘技术 本学科主要其研究方向为:脉冲功率及应用技术、电磁脉冲防护技术、高频高压电源技术、特殊条件下电介质结构与材料绝缘特性、放电等离子体及其应用。 (3)电力
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2011-11-24
    • 文件大小:7mb
    • 提供者:hebutsky
  1. YANG ZQ-集成电路制造技术-MEMS概述-1.ppt

  2. 这里简要介绍了MEMS技术的概念,研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望,MEMS制造工艺(Microfabrication Process)是下至纳米尺度,上至毫米尺度微结构加工工艺的通称。广义上的MEMS制造工艺,方式十分丰富,几乎涉及了各种现代加工技术。
  3. 所属分类:讲义

    • 发布日期:2020-08-22
    • 文件大小:14mb
    • 提供者:weixin_43192608
  1. 传感技术中的干货:有关MEMS的最详细介绍

  2. 虽然大部分人对于MEMS(Microelectromechanical systems, 微机电系统/微机械/微系统)还是感到很陌生,但是其实MEMS在我们生产,甚至生活中早已无处不在了,智能手机,健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备,部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。     MEMS是一门综合学科,学科交叉现象及其明显,主要涉及微加工技术,机械学/固体声波理论,热流理论,电子学,生物学等等。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米,相比之下头发的
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-16
    • 文件大小:613kb
    • 提供者:weixin_38687539
  1. 传感技术中的MEMS技术及其应用详解

  2. MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子,未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么?有什么特点?MEMS设计与制造面临哪些困难?本文将会一一解答。   MEMS是什么?   微机电系统(MEMS),在欧洲也被称为微系统技术,或在日本被称为微机械,是一类器件,其特点是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比人们头发的直径小很多。   MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件,例如它们可
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-15
    • 文件大小:239kb
    • 提供者:weixin_38592134
  1. MEMS压力传感器及其应用

  2. MEMS压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单易用和智能化。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-23
    • 文件大小:217kb
    • 提供者:weixin_38523618
  1. 模拟技术中的探究MEMS压力传感器及其应用

  2. 引言     MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。   ME
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-22
    • 文件大小:242kb
    • 提供者:weixin_38692928
  1. MEMS微针阵列及其在生物医学上的应用

  2. MEMS生物微针技术出现了并不是很长的时间,下面就微针较为广泛的三个方面的应用原理及当前该技术的最新进展进行阐述。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-17
    • 文件大小:118kb
    • 提供者:weixin_38625448
  1. ST公司单轴MEMS偏航陀螺仪的结构及其应用

  2. 陀螺仪能够测量沿一个轴或几个轴运动的角速度,而MEMS加速计则能测量线性加速度,因此这两者是一对理想的互补技术。事实上,如果组合使用加速计和陀螺仪这两种传感器,系统设计人员可以跟踪并捕捉三维空间的完整运动,为最终用户提供现场感更强的用户使用体验、精确的导航系统以及其它功能。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-24
    • 文件大小:259kb
    • 提供者:weixin_38690089
  1. ZigBee 技术及其在楼宇自动化系统中的应用

  2. 随着近年来人类在微电子机械系统(MEMS)、无线通信、数字电子方面取得的巨大成就,使得发展低成本、低功耗、小体积、短通信距离的多功能传感器成为可能。近期所涌现出来的一项新的无线通信技术—— ZigBee 技术将改变这种状况。ZigBee 技术产品以其低成本、低功耗、低传输速率、优秀的组网能力,被广泛认为将在未来的几年中对楼宇自动化工业产生重大的影响。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-24
    • 文件大小:106kb
    • 提供者:weixin_38657835
  1. RFID技术中的RFMD推出MEMS技术 将在RF应用中实现突破性性能及空前水平功能整合

  2. 据RFMD公司新闻报道,日前,设计与制造高性能射频系统与解决方案的全球领先者RF Micro Devices(RFMD)宣布推出专有微机电系统(MEMS)——面向 RF及其他应用的技术。RFMD期望其专有的MEMS技术将在RF及其他应用中实现突破性的性能及空前水平的功能整合。RFMD是开发面向低成本整合RF应用的MEMS技术的先驱者,公司自2004年起便已开始积极进行MEMS技术的商业化。RFMD期望其专有的MEMS技术将在RF及其他应用中实现突破性的性能及空前水平的功能整合。   RFMD推
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-11-30
    • 文件大小:65kb
    • 提供者:weixin_38609732
  1. 传感技术中的基于MEMS加速度传感器的双轴倾角计及其应用

  2. 摘 要: 利用MEMS加速度传感器设计了双轴倾角计,并采用单片机进行了线性化和温度补偿,倾斜角以模拟量和数字量2种形式输出。该倾角计体积小、重量轻、精度高,能够很好地满足MAV姿态控制及其他应用的倾角测量。     关键词: MEMS加速度传感器;无人飞行器;倾角计;线性化;姿态控制   引 言     MAV由于体积和负载能力极为有限,因此,减小和减轻飞控导航系统的体积及重量,就显得尤为重要。本文基于MEMS加速度传感器,设计一种双轴倾角计,该装置精度高、重量轻,可满足MAV的姿态
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-12-07
    • 文件大小:145kb
    • 提供者:weixin_38608873
  1. 准分子激光微制造技术及其应用

  2. 比较分析四种微加工工艺的基本特征和技术难点,简述准分子激光与Nd∶YAG激光微制造技术的特点和应用范围。结合华中科技大学准分子激光微制造工作站的建设及其在微钻孔、微切割等方面的实际应用,分析准分子激光在MEMS(微机电系统)键合、焊接、封装过程中应用的可能性。
  3. 所属分类:其它

  1. 探究MEMS压力传感器及其应用

  2. 引言     MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。   ME
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-01-20
    • 文件大小:312kb
    • 提供者:weixin_38543950
  1. MEMS技术及其应用详解

  2. MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子,未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么?有什么特点?MEMS设计与制造面临哪些困难?本文将会一一解答。   MEMS是什么?   微机电系统(MEMS),在欧洲也被称为微系统技术,或在日本被称为微机械,是一类器件,其特点是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比人们头发的直径小很多。   MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件,例如它们可
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-01-19
    • 文件大小:274kb
    • 提供者:weixin_38650516
  1. 基于MEMS技术的加速度传感器分析与应用

  2. 高速发展的电子及其制造技术使微机电系统(Micro-Electro-Mechanical-SySTems ,MEMS)迅速普及。其实基于MEMS技术的加速度传感器、压力传感器、陀螺仪等已经有30余年的应用历史,但由于技术和成本等多方面的原因,这些技术主要应用于工业、军事、汽车制造、仪器仪表,及医疗等领域,而未进入消费类产品市场。目前的情况则已大幅改观,MEMS技术已不像几十年前那样贵如珠宝,低成本、小尺寸、低功耗、高性能的MEMS传感器产品已掀起新的设计和消费浪潮。基于MEMS技术的多轴加速度传
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-01-19
    • 文件大小:196kb
    • 提供者:weixin_38742532
  1. RFMD推出MEMS技术 将在RF应用中实现突破性性能及空前水平功能整合

  2. 据RFMD公司新闻报道,日前,设计与制造高性能射频系统与解决方案的者RF Micro Devices(RFMD)宣布推出专有微机电系统(MEMS)——面向 RF及其他应用的技术。RFMD期望其专有的MEMS技术将在RF及其他应用中实现突破性的性能及空前水平的功能整合。RFMD是开发面向低成本整合RF应用的MEMS技术的先驱者,公司自2004年起便已开始积极进行MEMS技术的商业化。RFMD期望其专有的MEMS技术将在RF及其他应用中实现突破性的性能及空前水平的功能整合。   RFMD推出的批R
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-01-19
    • 文件大小:63kb
    • 提供者:weixin_38603219
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