陀螺仪是一种用来感测和维持方向的装置，它是航空、航海及太空导航系统中判断方位的主要依据，并且在汽车安全，航模，望远镜等领域广泛应用。MEMS 陀螺仪即微机电系统陀螺仪，它采用了先进的半导体加工工艺，在硅片上形成了微米尺度的精密谐振结构，用来感应角速度的大小和方向。MEMS 陀螺仪具有体积小，功耗低，精度高，成本低等诸多优点。 　　消费电子设备早在几年前就开始使用MEMS加速计。从游戏机到手机，从笔记本电脑到白色家电，运动控制式用户界面和增强的保护系统给所有的消费电子产品带来很多好处。现在轮到M