用能量为2.0 MeV剂量为2×1016 ion/cm2 He+离子室温下注入到z切的氧化锌晶体中形成光波导。退火前后用棱镜耦合法在633 nm激光波长下测量波导的暗模特性，发现在空气中经过适当退火后暗模消失,说明晶格损伤减少，进一步的退火处理有可能使晶格损伤完全恢复。用TRIM ′2003程序模拟了2.0 MeV He+离子注入到氧化锌晶体的过程，得到氧化锌损伤分布与穿透深度的关系曲线，并利用反射计算法重构了离子注入波导的折射率分布, 发现在波导区折射率增加，在离子射程的末端有一个折射率降低的