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N2等离子体预处理和RF溅射AlxNyfilm涂层对基于GaAs的LD的表面钝化
N2等离子体预处理和RF溅射AlxNyfilm涂层对基于GaAs的LD的表面钝化
所属分类：
其它
发布日期：2021-03-18
文件大小：340kb
提供者：
weixin_38584058
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