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  1. PECVD在太阳能电池上的应用

  2. 很详细的一片论文，讲了PECVD的原理与定义，使用设备，工作压强等参数，应用于solarcell上薄膜制备

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2012-12-06
    • 文件大小：17mb
    • 提供者：heshuhon