方昕1，方仁昌2（1.中国工程物理研究院工学院，四川 绵阳 621900；2.中国工程物理研究院电子工程研究所，四川 绵阳 621900）摘要：简述了IBAD（离子束辅助沉积）法制备纳米钛膜的过程中，关键工艺因素是如何将衬底温度维持在一个适当的范围，并运用PID（比例积分微分）调节器较好地实现这一要求的。 关键词：纳米钛膜；衬底温度；PID调节器中图分类号：TH861；TF823 文献标识码：A 文章编号：1671-4776（2003）12-0022-021引言纳米钛薄膜的晶粒尺寸直接影响到它的