晶圆图模式分类 1.数据说明 WM-811K数据集 在实际制造中从46393个批次中收集了811457个晶圆图 172950个晶圆被领域专家标记。 9种缺陷模式类别（中心，甜甜圈，边缘环，边缘局部，局部，随机，近满，划痕） 删除了四个裸片少于100个的异常晶圆图（无图案类） 2.手动特征提取方法 1]特征提取 1）密度特征 晶圆图分为13个区域（4个边缘区域，9个中心区域） 每个区域的缺陷密度用作密度特征 13个提取的特征 2）几何特征 通过噪声过滤提取显着区域 基于最大面积的显着区域