摘要利用X射线光电子能谱（XPS）研究了Ge衬底上不同厚度的GeO2，研究了热GeO2 / Ge叠层的能带不连续性和界面低价GeOx。发现GeO2 / Ge堆叠的能带结构取决于GeO2的厚度，带隙的变化范围为〜0.8eV，而GeOx的厚度与GeO2的厚度无关。这种依赖性的物理起源归因于间隙状态的分布以及整个堆叠中的固定电荷。