综述了国内外在纳米加工斬射线衍射光学透镜方面的研究现状和最新进展暎介绍了作者团队过去三年在这方面.做的工作暎针对衍射透镜关键技术棳研发了具有大高宽比形貌的电子束光刻基础工艺椈结合金电镀棳提出了纳米尺度波.带片的制造技术棳并将该工艺成功扩展于分辨率板棬斢旈斿旐斿旑旙旙旚斸旘棭和集成光栅型会聚透镜的研制暎运用蒙特卡罗模拟和.显影动力学棳探索了电子束光刻技术所能够实现的最大高宽比以及造成这种限制的物理根源椈成功研制了椀棸暙棻棸棸旑旐.的波带片透镜棬其中棳棻棸棸旑旐波带片高宽比为棻椂暶棻棭暍椀棸暙棾棸棸