介绍了一台毛细管快放电软X射线激光实验装置,包括Marx发生器,Blumlein传输线和毛细管放电室等。在充入相同气压的气体(70~90 Pa)和相同主脉冲(电流峰值30 kA,上升沿30 ns)放电条件下,通过观测其放电后的真空紫外波段辐射,对分别采用该装置固有的幅值为7 kA和外加的幅值为30 A的两种预脉冲时,聚乙烯毛细管和陶瓷毛细管的管壁烧蚀情况进行了研究。实验结果表明,采用7 kA预脉冲和聚乙烯毛细管时,管壁烧蚀量大,导致真空紫外波段的积分谱呈连续状;而采用10~30 A的预脉冲和高纯