新松洁净自动化产业样本pdf,提供“新松洁净自动化产业样本”免费资料下载，主要包括洁净自动化装备产业、真空机械手、大气机械手、洁净物流自动传输系统等内容，可供学习使用。新/洁净自动化 Clean Room automation
Clean room automation industr
净自动化装备产业
洁净自动化技术及装备是新松公司的新兴主导产业之一。公司的洁净自动化产品主要有
大气机械手、真空机械手、预对准装置( Aligner)、自动提升装置、SM|F(FOUP)及
洁净自动化产业
EFE
