注册会员 | 设为首页 | 加入收藏夹
您好，欢迎光临本网站！[请登录] ！[注册会员]！  

搜索资源列表

  1. 光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术

  2. 扫描狭缝是步进扫描光刻机用于控制曝光剂量的重要单元。随着光刻工艺节点减小到90 nm及以下,光刻照明分系统对刀口半影宽度的测量精度和重复性提出了更高要求。基于此,提出一种基于光瞳像的光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术。分析了共面扫描狭缝刀片成像光路,推导得到掩模面半影区与光瞳像的对应关系。搭建了扫描狭缝刀口半影检测系统,并对90 nm光刻机照明分系统的扫描狭缝刀口半影宽度进行测量。实验结果表明,所提测量技术可有效改善光强波动对刀口半影宽度测量的影响,扫描狭缝刀口半影宽度的测量重复性达到0.026

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-26
    • 文件大小：6291456
    • 提供者：weixin_38707240

  1. 基于空芯带隙型光子晶体光纤的单端置入式同源甲烷检测仪

  2. 为了提高复杂环境中甲烷气体探测的适用性,选择空芯带隙型光子晶体光纤(单端镀全反膜)作为光学气室,实现了置入式同源甲烷浓度的探测。采用可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)技术,结合长度为0.5 m的空芯带隙型光子晶体光纤,实现了甲烷气体的在线测量,系统的检测下限可达到1.92×10 -5,稳定性波动小于±2.18%。单端全反射设计配合同源探测方式使复杂环境中的甲烷浓度的置入式探测成为可能,为单光源分布式探测提供了研究基础。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-26
    • 文件大小：9437184
    • 提供者：weixin_38551143

  1. 微型紫外光谱仪分析系统的研究

  2. 针对微型紫外光谱仪应用设计要求,开展了紫外光谱仪系统研究,完成了IV型光学系统设计。研制出在线实时分析的微型紫外光谱仪,对样机主要参数的测试表明:其工作波长为200~400 nm,分辨率达0.31 nm,波长准确性为±0.1 nm,信噪比为507∶1。通过12 h系统稳定性测试,结果表明该样机光谱波动小于0.47%,达到了光谱仪长期工作的稳定性要求。在25 ℃的实验条件下通过SO2气体对光谱仪性能进行测试,基于差分吸收光谱技术理论,完成了标准气体的差分吸收截面计算。通过连续24 h对质量浓度为2

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-26
    • 文件大小：6291456
    • 提供者：weixin_38732811

  1. 基于射线的15GHz室内走廊场景统计传播建模

  2. 根据对第五代（5G）通信系统的需求，需要采用高频带（6 GHz以上）来提供附加频谱。 本文研究了15 GHz室内走廊通道的特性。 用矢量网络分析仪在两个走廊进行了通道测量。 基于射线光学方法，提出了一种既涵盖天线又涵盖传播特性的确定性信道模型。 通过将接收功率和均方根时延扩展的仿真结果与相应的测量结果进行比较，可以评估信道模型。 通过消除来自发射器和接收器的定向天线的影响，基于确定性模型生成的样本，给出了典型走廊的路径损耗模型以及小规模衰落特性。 结果表明，路径损耗变化的标准偏差与Tx高度有关，

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-04-01
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38693967

  1. FastMarchingMethod-源码

  2. 快速行进法 快速行进法（FMM）是所谓的Eikonal方程的基于网格的数值求解器，Eikonal方程是建立几何光学基础的波动方程的高频近似。 FMM利用有限差分来计算每个网格点的行进时间，从而跟踪单调前进波前的演变。 与其他基于网格的旅行时间计算相比，FMM在稳定性，计算效率和算法简单性方面均具有优势。 有限差分尝试近似导数（在此根据函数f(x) ） katex.render（“ c = \ pm \ sqrt {a ^ 2 + b ^ 2}”，元素，{throwOnError：false}

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-29
    • 文件大小：5120
    • 提供者：weixin_42131414
« 1 2 3 4 5 6 7 8»