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基于谐振隧道二极管的微加速度计的制作与表征
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文件大小: 1mb
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上传时间: 2021-03-15
详细说明：演示了一种基于砷化镓（GaAs）谐振隧道二极管（RTD）的微加速度计。 使用位于检测光束根部的RTD的介电电阻效应，可以将输入加速度信号转换为输出电信号。 进行了有限元模拟，以设计，分析和优化加速度计的结构。 加速度计是结合GaAs IC表面技术和体微机械加工技术制造的。 进行振动测试和冲击测试以研究加速度计的特性。 实验结果表明，RTD加速度计的灵敏度为7.91 mV / g。 噪声分辨率为-1.264 mg /√Hz，工作频率高达3 kHz。
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