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增强等离子腔超透镜成像的结构化大体积等离子照明源的设计。
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文件大小: 1mb
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上传时间: 2021-03-13
详细说明：设计结构化体等离子体激元照明（BPI）源以实现均匀的高空间频率照明场。 通过采用由交替堆叠的金属和介电纳米层组成的双曲线超材料（HMM），可以发射深亚波长整体等离激元极化子（BPP）。 然后，将获得的BPP模式用作结构化照明源，以提高成像分辨率。 更重要的是，可以通过在原始BPI源中添加额外的Ag层来显着提高BPI强度。 当BPI光源照射两个纳米狭缝时，等离子体腔超透镜的成像分辨率明显提高。 尤其是，在原始BPI来源上添加了额外的Ag层后，可以发现图像对比度的明显改善。 拟议中的BPI源有望在近场超分辨率光刻中具有一定的潜力。
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