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射频磁控溅射种子层制备（Pb0.8Ca0.2）TiO3薄膜的微观结构和电学性能
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文件大小: 401kb
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上传时间: 2021-03-10
详细说明：具有和不具有Pb0.8La0.1Ca0.1Ti0.975O3（PLCT）种子层的四方（Pb0.8Ca0.2）TiO3（PCT）薄膜通过射频磁控溅射在Pt（111）/ Ti / SiO2 / Si衬底上沉积了Pt（111）。 种子的影响对PCT薄膜的微观结构和电性能进行了研究，发现没有种子层的PCT膜表现出无规取向，而具有种子层的PCT膜表现出很强的取向。 （100）方向。 具有14 nm厚PLCT种子层的PCT薄膜显示出增强的电学性能热电系数（256μC/ m2 K）大，漏电流密度低等特性（Jb2×10-5 A / cm2）在室温下。 产生的高品质因数（Fd = 173μC/ m2 K）表明高度取向的薄膜是热释电薄膜器件的良好候选者
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