文件名称:
使用选择性涂层法在阳极氧化铝上制备电导可控的标准泄漏元件
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上传时间: 2021-03-08
详细说明：为了制造电导可控的标准泄漏元件，开发了一种选择性涂覆方法，以在阳极氧化铝上实现特定的开口面积。 通过离子束溅射将具有最佳厚度的氧化铝沉积到阳极氧化铝上，充当覆盖层以密封阳极氧化铝中的多余Kong。 制作了两个具有不同裸露面积的泄漏元件，并测量了其电导率值。 结果表明，泄漏元件的电导率可以通过未覆盖区域的大小来控制。 阳极氧化铝中管子的直径约为70 nm，流过管子的气体（如氦气）表现出从真空到大气压的分子流。 因此，对于不可凝气体物种，泄漏元素的电导值是可预测的。
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