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上传时间: 2021-03-08
详细说明：针对现有的微机械陀螺噪声分辨率难以降低的问题，设计了一种基于纳米光栅检测的微陀螺，阐述了纳米光栅微陀螺的工作原理，分析了微陀螺的动力学方程，设计了微陀螺结构，该微陀螺结构灵敏度达到21.27nm/̊/s。设计了应用于微陀螺的纳米光栅结构，其衍射灵敏度为0.00175mW/nm。在SIMULINK中对纳米光栅微陀螺的灵敏度进行了仿真，纳米光栅微陀螺灵敏度为37mV/°/s。计算结果表明，纳米光栅微陀螺的噪声分辨率达到了2.903*10-4°/h/√Hz
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