文件名称:
嵌入双缝光子晶体纳米束腔中的飞克级纳米机械谐振器
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文件大小: 1mb
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上传时间: 2021-03-05
详细说明:设计并演示了一种光机械设备,该设备包含纳米机械谐振器,该谐振器具有6.42 fg的超低有效质量。 飞克级纳米机械谐振器嵌入在双缝光子晶体纳米束腔中。 光学共振可有效读取纳米机械共振器的运动。 所制造的装置在大气中具有光学和机械特征。 在测得的射频功率谱密度中,将3.928 GHz处的峰鉴定为有效质量为6.42 fg的机械模式。测得的室温机械Q因子为1255,位移灵敏度为获得0.13 fm / ffiffiffiffiffi.pHz,它是标准量子极限的22倍。 这些演示的片上集成光机械器件结合了高Q因子光腔和具有超低有效质量的纳米机械谐振器,有望用于超灵敏的测量领域。
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