文件名称:
圆柱状二维光子晶体的制备：全息光刻Craft.io的双重发展
开发工具:
文件大小: 1mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-03-04
详细说明：已经报道了通过使用双重显影的全息光刻技术来制造柱状二维光子晶体的简单且成本有效的方法。 在该过程中，直接在正性光刻胶上生成了二维大点型周期性结构，然后通过Si3N4硬掩模将其转移到基板上。 通过使用二次显影，可以有效地除去暴露于高强度和中等强度的光致抗蚀剂，而仍然可以保留暴露于低强度的光致抗蚀剂。 二维结构的周期可以通过调节两个入射光束的角度来容易地控制。 已经产生具有良好的均匀性和可再现性的，在相对大的面积上的大周期范围内的结构。 详细讨论了处理参数。
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
