文件名称:
用于无色红外成像的夹层框架式平面飞机阵列的设计与制造
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文件大小: 1mb
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上传时间: 2021-03-04
详细说明：本文报道了一种新型的红外（IR）焦平面阵列（FPA）通过使用SiNx / SiO2 / SiNx夹心结构作为双材料悬臂像素的帧，并且具有足够的支撑强度来避免骨折和焦平面弯曲。 该设备是用体硅Craft.io，其中采用了沟槽回填技术用于形成SiNx / SiO2 / SiNx夹层框架。 通过用SiNx / SiO2 / SiNx框架代替硅框架， FPA的填充因子增加到42％。 同时， FPA的可靠性和均匀性得到了改善悬臂像素交错排列的设计。 人体热图像成功捕获FPA在室温下。
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