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上传时间: 2021-03-02
详细说明：本文讨论了基于平面内和平面外移动光栅的高分辨率位移检测。 为了提高检测分辨率和稳定性，建立了双金属/介电光栅的模型来研究光栅参数的公差。 通过严格的耦合波长分析来计算光栅的零级光学衍射效率，这取决于光栅参数。 依赖关系曲线分别是余弦曲线和脉冲曲线，对于平面内运动最大斜率优于0.29％/ nm，最高分辨率可达到0.01 nm，对于平面外运动最大。斜率优于1.63％/ nm，最佳分辨率可达0.002 nm。 这些结果表明，面内效应对于远距离和高分辨率位移检测是可行的，而面外效应适合于小距离和高分辨率位移检测。 两种效果都为高分辨率位移传感器的开发提供了设计解决方案。
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