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基于纳米光栅检测的微陀螺仪的结构设计与仿真
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文件大小: 2mb
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上传时间: 2021-03-02
详细说明：微型陀螺仪操作的核心概念是检测弱的科里奥利力。 我们详细描述了基于纳米光栅检测的光学微陀螺仪的工作原理。 双层反射金属纳米光栅用于检测作用在陀螺仪上的科里奥利力。 为了分析其结构灵敏度，配置了陀螺仪的仿真模型，结果表明该结构实现了良好的模态匹配，并且结构灵敏度为6.402 nm /°/ s。 此外，在光学仿真中对纳米光栅的结构进行了分析，并对几个结构参数进行了公差分析，以洞悉实现实际的器件。 最后，在SIMULINK环境中实现了陀螺仪系统的模型。 使用从计算中获得的参数值，对纳米光栅陀螺仪的仿真得出总灵敏度为3.03 mv /°/ s，理论本底噪声为5.95 * 10-5°/ s / HHz。 这证实了所提出的光学微型陀螺仪的设计效果良好。
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