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MEMS圆盘谐振器形变对电气刚度影响分析
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上传时间: 2021-02-25
详细说明：电气刚度是影响 ＭEＭS 谐振器谐振频率精度的因素之一。 但是对于谐振器受到应力时,产生的形变量对电气刚度
的影响的理论研究报道甚少。 鉴于此,本文对电容式盘结构谐振器受径向静电力和纵向惯性力下的形变量以及电气刚度的
改变量进行了系统的理论分析。 研究结果表明,当圆盘与电极间隙为 ５0 nm,且电压达到 ５0 V 时,圆盘由于静电力产生的径
向形变量可达间隙的2． 0５%,电气刚度改变6． 1５%。 当圆盘半径为100 μm,且受到10 000 g n 的纵向惯性力时,其最大形变量
可以达到圆盘厚度的 2． ４%,电气刚度改变 2． ４%。 本文分析结果对其他盘结构谐振器的分析亦有重要借鉴意义。
关键词: ＭEＭS 圆盘谐振器;静电力;惯性力;形变量;电气刚度
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