文件名称:
具有集成GaAs微透镜的大功率大Kong径底部发射980 nm VCSEL
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文件大小: 548kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-24
详细说明：已制造出微透镜集成的底部发射980 nm垂直腔面发射激光器（VCSEL），发射窗口Kong径为400μm。 具有九个InGaAs-GaAsP量子阱和n型分布式布拉格反射器（n-DBRs）的反射率略有下降的新型材料结构可用于增加输出功率。 通过单步扩散限制湿法刻蚀技术在GaA.s基板上制造凸微透镜。 在横向氧化之后，活性层的直径为大约200μm，并且微透镜的标称直径为400μm。 在室温下连续波运行时，最大输出功率为200 mW。 单个器件在4A电流下的远场发散角theta（平行）和theta（垂直）分别为8.7度和8.4度。 比较了集成了微透镜的VCSEL和普通VCSEL之间的光束性能。
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