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上传时间: 2021-02-23
详细说明：提出了一种基于MEMS体硅技术的新型高对称结构共振微束加速度计，并给出了该方案的一些数值模拟结果。 加速度计包括两个质量块，四个支撑铰链，两个锚和一个振动三重梁，该梁在两端都被夹持在两个质量块上。 选择LPCVD富硅氮化物作为共振三束材料，并且对三束结构进行了参数优化。 三重光束被位于光束上表面的薄膜电极激发和电磁感应。 仿真和实验结果均表明，该新型结构增加了共振加速度计的比例因子，并改善了其他性能问题，例如不灵敏的输入加速度的横轴灵敏度等。
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