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磁控溅射ZnO：Al的有限元模拟与实验研究
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上传时间: 2021-02-23
详细说明：铝掺杂的氧化锌（ZnO：Al）薄膜适合用作铜铟镓Selenium化Cu（In，Ga）Se（2）薄膜太阳能电池中的透明导电电极。 在磁控溅射过程中，沉积在钠钙玻璃上的ZnO：Al的电阻率和膜质量不均匀。 根据目标上方磁场的测量结果，分别沿垂直方向和水平方向观察到明显的磁场分布不均。 随着靶材和基板之间的距离变长，两个磁极之间的磁场强度变得更低且更平坦。 基于有限元分析的仿真结果，验证了磁场分布的不均匀性会影响Ar（+）粒子碰撞和氧化锌（ZnO）粒子在基板上不同区域沉积的可能性。 在磁场强度较强的情况下，可以获得较高的ZnO：Al膜电阻率。
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