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上传时间: 2021-02-13
详细说明：提出一种面向数字全息的相位畸变自动补偿方法，利用图像分割技术对被检测物体进行自动分割,生成相位掩模板，进而得到不含被测物体区域的畸变相位。基于相位畸变校正模型对畸变相位进行最小二乘拟合，最终实现相位畸变的自动补偿。实验中搭建了数字全息检测平台，并对晶圆表面进行测量，结果表明所提出的方法能够实现畸变相位的自动校正。
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