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氮气压强对脉冲激光沉积类金刚石薄膜和红外光学特性的影响
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上传时间: 2021-02-12
详细说明：为了研究氮气压强对脉冲激光沉积(PLD)类金刚石(DLC)薄膜和红外光学特性的影响，在脉冲激光沉积类金刚石薄膜的实验过程中，把沉积腔抽真空到10-5 Pa，再在沉积腔中分别充入10-3、10-2和10-1 Pa的氮气来沉积类金刚石薄膜。用拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪(XPS)对类金刚石薄膜的微结构与组成进行检测分析；用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行检测分析；用傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)对类金刚石薄膜的红外光透射谱进行检测分析。实验结果表明，沉积腔中的氮气压强从10-3 Pa增加到10-1 Pa时，类金刚石薄膜中sp3键含量增加；C－O和C＝O含量减少；石墨晶粒尺寸减小；薄膜
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