文件名称:
绝对编码光栅的相位细分及其在位移测量中的应用
开发工具:
文件大小: 2mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-12
详细说明：提出通过光栅条纹相位的精密测量，获取光栅高精度位移信息的方法。具体方法是对光栅图像采用多码道设计，用CCD二维图像传感器获取测量段光栅图像多码道信息。对最低码道图形的周期函数序列进行傅里叶变换、基频滤波和逆傅里叶变换获得光栅截断相位分布，其余码道信息提供相位展开的级次，以此获得测量段光栅的绝对相位分布。用光刻的手段制作了实用的绝对编码光栅，基元码道的尺寸是：27.36 μm用于明条纹，27.36 μm用于暗条纹，最小基元码道空间周期为54.72 μm,光栅长度为14008.32 μm。在步长近似3 μm的位移测试中，与比对的标准仪器记录值比较，标准偏差为0.2057 μm，精度在亚微米量级。重复性实验表明，位置测试的稳定性为0.09 μm （标准差），得到600倍以上细分的分辨力。
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
