文件名称:
基于飞秒激光加工的马赫曾德尔干涉氢气传感器
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文件大小: 3mb
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上传时间: 2021-02-12
详细说明：介绍了一种基于光纤微加工的氢气传感技术方案。利用波长为800 nm的飞秒激光脉冲在普通单模光纤上加工马赫曾德尔（M-Z）干涉腔，并采用磁控溅射方法在加工后的M-Z干涉微腔上溅射钯（Pd）膜，制备了一种新型的光纤氢气传感器。分析了加工工艺对微腔干涉效果的影响，选择合适的加工参数以及加工后对微腔进行后续处理，可使微腔的透射光谱的分辨率得到提高。实验研究了腔长为40 μm的M-Z干涉传感器分别镀36 nm、110 nm Pd膜后，对氢气的响应。结果表明，在不同的氢气浓度下，镀Pd膜的M-Z干涉传感器都表现出对氢气的敏感特性，随着氢气浓度的增大，透射光谱会向长波长方向偏移，其中Pd膜厚度为110 nm比厚度为36 nm的传感器对氢气有更好的灵敏度。
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