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文件名称: 相位测量轮廓术中随机相移误差的校正算法
  所属分类: 其它
  开发工具:
  文件大小: 687kb
  下载次数: 0
  上传时间: 2021-02-11
  提 供 者: weixin_********
 详细说明:在相位测量轮廓术(PMP)中,随机相移误差是导致测量误差的重要因素,提出一种新的随机相移误差的校正算法,在五步相移的基础上不需要求解相位分布,通过近似处理可以直接求解相移过程中存在的随机相移误差,在保证精度的情况下,能大大减少迭代次数和计算量。推导了新算法的计算公式,详细说明了随机相移误差的求解过程。计算机模拟和实验证实了新的算法的有效性。与In-bok Kong的算法相比较,新算法能大大减少迭代次数和计算量。该新算法也同样适用于相移干涉计量。
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